我国第一台28nm国产光刻机研发成功

纠结的大白菜

据媒体报道，近日，上海微电子装备(集团)股份有限企业对外披露，我国第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机研制成功。虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至是5nm光刻机还有数代的隔阂，但是差距已经缩小，毕竟在此之前国产光刻机还是90nm。