C114门户论坛百科APPEN| 举报 切换到宽版

亚星游戏官网

 找回密码
 注册

只需一步,快速开始

短信验证,便捷登录

搜索
查看: 3236|回复: 0

[其他厂商] VirtualLab:泰伯(TALBOT)光刻机 [复制链接]

军衔等级:

亚星游戏官网-yaxin222  三级通信军士

注册:2021-6-11
发表于 2021-12-24 08:57:08 |显示全部楼层
作为最著名的衍射效应之一,泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人,大家在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版,并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。特别是,由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的,因此大家在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。
圆锥形相位掩模的Talbot图像

1.jpg




在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像,以使柱形图案位于主像平面中,而孔图案出现在次像平面中。

用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论
示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中,如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。



2.jpg

举报本楼

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册 |

手机版|C114 ( 沪ICP备12002291号-1 )|联系大家 |网站地图  

GMT+8, 2024-10-18 23:24 , Processed in 0.139149 second(s), 18 queries , Gzip On.

Copyright © 1999-2023 C114 All Rights Reserved

Discuz Licensed

回顶部
XML 地图 | Sitemap 地图